English
한국어
日本語
Melayu
Русский
Português
Francés
العربية
Español
Processo di riduzione del triclorosilano
Metodo di controllo del processo di riduzione del triclorosilano Questo metodo include una fase di controllo della reazione preliminare, una fase di controllo della reazione stabile e una fase di controllo della reazione finale. Nella fase preliminare di controllo della reazione, il flusso di SiHCl3 è controllato al di sotto di 260 metri cubi/ora, il flusso di H2 è controllato al di sotto di 520 metri cubi/ora e la corrente è controllata tra 30-1000 ampere. Nella fase di controllo della reazione stabile, il flusso di SiHCl3 è controllato tra 175-260 metri cubi/ora, il flusso di H2 è controllato tra 385-520 metri cubi/ora e la corrente è controllata tra 1000-2000 ampere. Nella fase finale di controllo della reazione, il flusso di SiHCl3 è controllato tra 130-250 metri cubi/ora. Il flusso di H2 è controllato tra 360 e 520 m3 / h e la corrente è controllata tra 100 e 800 amp. L'invenzione migliora la resa di triclorosilano e riduce il consumo di energia, riducendo i costi di produzione delle imprese.
Il principio è ridurre il richlorosilano ad alta purezza con idrogeno ad alta purezza sul nucleo di silicio ad alta purezza a circa 1100 ℃ per generare silicio policristallino depositato sul nucleo di silicio. Sulla base del tradizionale processo Siemens, il processo Siemens migliorato è dotato di un processo di supporto di risparmio energetico, riduzione del consumo, riciclaggio e utilizzo di una grande quantità di H2, HCI, SiCI4 e altri sottoprodotti e una grande quantità di -produzione di energia termica. Nel polisilicio nel processo di produzione, l'utilizzo di silicio chimico idrogeno riducente H2 nella barra di silicio generata sulle fasi di polisilicio è la fase più importante, il processo di velocità di produzione di polisilicio di chiave alta e bassa risiede anche nel controllo delle fasi del processo, così da migliorare il tasso di produzione di polisilicio è il punto chiave di controllo delle fasi del processo e la fase del processo è in condizioni di processo di reazione ad alta temperatura, elevato consumo energetico. Per ridurre il consumo di energia, è anche necessario controllare ragionevolmente la fase del processo.
