Metodi di sintesi del triclorosilano

Attualmente esistono due metodi principali di sintesi del triclorosilano : uno è il metodo di sintesi tradizionale, cioè il metodo del cloruro di silicio. L'altro è l'idrolisi del tetracloruro.

Attualmente, il metodo principale per la produzione di polisilicio è il metodo Siemens modificato, che utilizza il triclorosilano