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Idrogenazione del tetracloruro di silicio in triclorosilano
Lo sviluppo dell'industria fotovoltaica ha notevolmente promosso lo sviluppo dell'industria del polisilicio e la produzione di polisilicio produce un gran numero di sottoprodotti di tetracloruro di silicio. Per lo sviluppo sostenibile dell'industria del polisilicio, è necessario risolvere l'utilizzo completo dei problemi del tetracloruro di silicio, la preparazione dell'idrogenazione del silicio e del tetracloruro di silicio in idrogeno chimico è il modo più efficace per affrontare il tetracloruro di silicio, questo metodo non solo può eliminare il tetracloruro di silicio , allo stesso tempo genera la produzione di polisilicio di idrogeno chimico di materie prime di silicio, riduce notevolmente i costi di produzione.
L'idrogenazione ad alta temperatura del tetracloruro di silicio è un metodo importante per trattare il tetracloruro di silicio come sottoprodotto del polisilicio. L'idrogenazione ad alta temperatura è tetracloruro di silicio e idrogeno come materie prime, riscaldata da un riscaldatore di grafite da 1200 ~ 1250 ℃, reazione di riduzione termica per produrre triclorosilano .
I vantaggi del processo sono che l'intero sistema è a circolazione chiusa, adatto per un funzionamento continuo e stabile; Triclorosilano prodotti di elevata purezza, necessitano di meno legami di distillazione. Lo svantaggio è che la reazione deve essere eseguita a una temperatura di 900~1400℃ o anche superiore e ad alta pressione di 1~35MPa, e il consumo di energia è elevato; Poiché il dispositivo di riscaldamento del reattore è una cintura di grafite isostatica, è facile formare metano e altri gas in condizioni di alta temperatura e pressione, che porteranno inquinamento da carbonio al polisilicio nella produzione a ciclo chiuso.
