Il triclorosilano sihc13 di grado elettronico è un liquido incolore, infiammabile, corrosivo e ha un odore soffocante. Idrolizzare rapidamente in aria umida per produrre acido cloridrico: punto di ebollizione 31,9 ':. Punto di fusione 126,5 c:. Densità liquida 134ukgi resistenza: nell'aria "}", il
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